臺(tái)式電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)工程、生物學(xué)、物理學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的分析儀器。
臺(tái)式電鏡主要包括臺(tái)式透射掃描電鏡、臺(tái)式電子顯微鏡、臺(tái)式掃描電子顯微鏡、臺(tái)式透射式電子顯微鏡等類(lèi)型，它們具有不同的功能和特點(diǎn)，但共同的目標(biāo)是為科研和工業(yè)應(yīng)用提供高分辨率的觀察和分析手段。這些電鏡設(shè)備能夠提供大景深、寬視野的立體形態(tài)觀察，可以對(duì)樣品的形貌和組成進(jìn)行成像，適用于對(duì)含水樣品和無(wú)導(dǎo)電性樣品的觀察。此外，一些臺(tái)式電鏡還具備元素分析功能，能夠進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，對(duì)樣品的基本不需要制備，可以直接觀測(cè)，從而為科學(xué)研究提供了大的便利。
例如，臺(tái)式透射掃描電鏡和臺(tái)式電子顯微鏡分別在2016年9月3日和2009年12月18日啟用，它們的技術(shù)指標(biāo)包括放大倍率、樣品移動(dòng)范圍、*大樣品尺寸和厚度、電子槍類(lèi)型、檢測(cè)器類(lèi)型等，這些指標(biāo)保證了電鏡能夠滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的研究需求。臺(tái)式掃描電子顯微鏡在硅片與芯片質(zhì)量檢測(cè)中的應(yīng)用，以及臺(tái)式透射式電子顯微鏡在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用，都體現(xiàn)了臺(tái)式電鏡在現(xiàn)代科學(xué)研究中的重要性。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的主要部件包括電子發(fā)射系統(tǒng)、電磁透鏡、信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等。其中，電子發(fā)射系統(tǒng)用于發(fā)射電子束，電磁透鏡用于聚焦和偏轉(zhuǎn)電子束，信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)用于檢測(cè)樣品表面激發(fā)的信號(hào)，真空系統(tǒng)則用于保證電子束在傳播過(guò)程中不受氣體分子的影響。
總的來(lái)說(shuō)，臺(tái)式電鏡通過(guò)提供高分辨率的圖像和深入的分析能力，對(duì)于推動(dòng)科學(xué)研究和技術(shù)發(fā)展起到了重要作用，是現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)檢測(cè)中重要的工具。
